- カラー画像処理方式 200万画素カラーカメラを標準採用
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- 3CCD、200万画素カラーカメラを標準採用することにより、優れた検出能力。
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- ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能。
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- 品種毎に可変の画像分解能（0.75〜5μm対応可）で検査が可能。組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能。（オプション）
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- 画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能。
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- 一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能。
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- オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備。（オプション）
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- 厚みの公差が150μmあるワークでも検査・排除可能。（オプション）
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- 全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり。（オプション）
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- NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能。（オプション）
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- 照明用途の大型LEDチップにも対応した、プレスキャン対応も可能。
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- LEDチップ、半導体チップ（チップサイズ：100μm〜2mm、各種パターンに対応）
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- ウエハサイズ：2〜8インチ（検査範囲Max□210mmの範囲内であれば可能）
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